Pall product family · Bulk / advanced lithography
Pall PE-Kleen 与 Xpress PE-Kleen 过滤器
HDPE 光刻过滤方向，覆盖传统批量应用与 Xpress 先进光刻洁净度方案。
Bulk / advanced lithographyHDPEPall · 先进光刻与批量过滤
直接答案：PE-Kleen 采用 HDPE 膜与 Pall Ultipleat 结构，公开资料面向高纯化学品、抗反射涂层及 248 nm、193 nm 光刻胶批量过滤。Xpress PE-Kleen 则是 Pall 面向先进图形化化学品和相应 EUV 材料公开的高流量亚 1 nm HDPE 方向。
核验日期：2026-08-28。最终型号、规格、兼容性、供货状态和适用性以 Pall 正式资料及项目书面确认为准。
Verified scope
Pall 官方公开范围与选型边界
只列可从 Pall 官方页面核验的产品定位；不把单一型号参数外推到整个系列。
| 公开介质方向 | 高纯化学品、抗反射涂层及 248 nm、193 nm 光刻胶批量过滤。 |
|---|---|
| 公开膜材 | 高密度聚乙烯（HDPE）。 |
| 先进光刻方向 | Xpress PE-Kleen 官方页描述高流量亚 1 nm HDPE 方案，并提及先进图形化化学品与相应 EUV 光刻胶材料。 |
| 选型边界 | PE-Kleen 与 Xpress 不是同一洁净处理和等级的泛称，需按正式料号与数据表核对。 |
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相邻产品解决的工艺位置、膜材或污染机制不同，不能仅按品牌名称互换。
FAQ
PE-Kleen / Xpress 常见问题
用自然语言直接回答采购与工程团队最常遇到的边界问题。
Xpress PE-Kleen 就是普通 PE-Kleen 吗？
不是简单同义词。Xpress 页面强调额外清洗、先进洁净度和亚 1 nm HDPE 方向，实际配置须按完整型号与正式资料确认。
PE-Kleen 可以直接用于所有 EUV 光刻胶吗？
不能直接得出这个结论。应验证配方相容性、非目标吸附、压差、初始洁净度、材料损失及晶圆缺陷表现。
Pall product inquiry
需要核对 PE-Kleen / Xpress 完整料号？
提交标签照片、数量、介质、工艺位置、流量温压、接口和期望交期，深圳团队先整理确认项。