Ultrapure Gas Filtration & Purification

超高纯气体过滤与纯化

围绕 Pall 半导体工艺气体产品，在大宗气、特气、气柜、VMB 与设备点位中将颗粒过滤和分子杂质纯化分开确认。

客户常搜：Pall 半导体气体过滤器代理半导体特气过滤器气柜与 VMB 颗粒控制工艺气体水氧杂质去除设备端气体过滤和纯化

Pall application solution

Pall 半导体超高纯工艺气体过滤

Pall 工艺气体过滤产品覆盖大宗气体分配、气柜、VMB 与设备点位，重点确认颗粒控制、低析出、气体兼容性、流量压差、温压和接口条件。

Process view

同一个产品名称，在不同位置可能对应不同的材料、流量、压差和维护要求。

Pall 气体过滤器有哪些常见产品方向？

Pall 官方资料将半导体工艺气体过滤覆盖到大宗分配与设备点位，常见方向包括 Gaskleen、Emflon、金属纤维过滤器及不同流量结构。具体系列需按气体和工况确认。

气体过滤器和纯化器有什么区别？

过滤器主要控制颗粒，纯化器主要针对水、氧等分子级杂质，项目中可能需要分别配置。

腐蚀性气体可以使用普通不锈钢过滤器吗？

需要根据具体气体、浓度、温压和材料兼容性确认，不能按普通惰性气体经验直接替换。

Application inquiry

把设备位置、介质、参数和当前问题告诉我们，我们会整理下一步确认清单。